等离子废气处理设备主要由高频放电所产生的瞬间高能足够打开有害气体分子的化学能，使之分解为单质原子或无害分子；等离子体中包含大量的高能电子，正负离子，激发态粒子和具有强氧化性的自由基，它使活性粒子和部分臭气分子碰撞结合，在电场作用下，使臭气分子处于激发状态。当臭气分子获得的能量大于其分子键能的结合时，臭气分子的化学键断裂，直接分解成单质原子构成无害气体分子。同时产生的大量OH，O等活性基和气体性很强的O，与有害气体分子发生化学反应，生成无害产物。